Η διαδικασία παραγωγής ράβδων καρβιδίου του πυριτίου (θερμαντικά στοιχεία SiC) περιλαμβάνει πολλαπλούς βασικούς συνδέσμους που πρέπει να ελέγχονται αυστηρά για να διασφαλιστεί η απόδοση και η αξιοπιστία του προϊόντος. Τα ακόλουθα είναι τα βασικά σημεία ελέγχου και τα σημεία ελέγχου της ροής της διαδικασίας:
1. Παρασκευή πρώτων υλών και αναλογία
Βασικά σημεία:
● Καθαρότητα και μέγεθος σωματιδίων σκόνης καρβιδίου του πυριτίου (SiC): Η σκόνη SiC υψηλής καθαρότητας είναι η βάση και η κατανομή μεγέθους σωματιδίων επηρεάζει άμεσα την πυκνότητα και την αγωγιμότητα της πυροσυσσωμάτωσης.
● Η χρήση ειδικών συνδετικών και πρόσθετων μπορεί να εξασφαλίσει την ομοιομορφία της διασποράς της πρώτης ύλης και να ρυθμίσει την ηλεκτρική ειδική αντίσταση.
Μέτρα ελέγχου:
● Έλεγχος εισερχόμενης πρώτης ύλης (καθαρότητα, μέγεθος σωματιδίων, περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες).
● Υιοθέτηση της διαδικασίας υγρής ή ξηρής ανάμειξης για την εξασφάλιση ομοιομορφίας.
● Βελτιστοποιήστε την αναλογία μέσω πειραμάτων μικρής-κλίμακας.
2. Διαδικασία καλουπώματος
Βασικά σημεία:
Πυκνότητα και ομοιομορφία σχηματισμού: επηρεάζει άμεσα τη δομική αντοχή και τη θερμική ομοιομορφία μετά την πυροσυσσωμάτωση
● Η τιμή της πίεσης χύτευσης πρέπει να υπερβαίνει τα 16MPA, συνήθως μεταξύ 17-18MPA. Εάν η τιμή πίεσης είναι πολύ χαμηλή, η πυκνότητα της ράβδου καρβιδίου του πυριτίου είναι χαμηλή και επιρρεπής σε κάμψη, ενώ εάν η τιμή πίεσης είναι πολύ υψηλή, είναι εύκολο να καταστρέψετε το καλούπι.
● Παρατηρήστε την επιπεδότητα και ελέγξτε εάν το κέντρο της οπής της ράβδου είναι κεντραρισμένο και εάν υπάρχει κάποια απόκλιση.
● Δοκιμή πυκνότητας: Εάν η πυκνότητα της ράβδου καρβιδίου του πυριτίου δεν πληροί τις καθορισμένες απαιτήσεις, η ράβδος καρβιδίου του πυριτίου είναι επιρρεπής σε κοπή. Επιπλέον, η πυκνότητα μπορεί να προσδιοριστεί χονδρικά από τον αριθμό των πόρων στην άκρη του ραβδιού. Ένας μεγαλύτερος αριθμός πόρων υποδηλώνει χαμηλότερη πυκνότητα, ενώ ένας μικρότερος αριθμός υποδηλώνει μεγαλύτερη πυκνότητα.
Μέτρα ελέγχου:
● Ελέγξτε την πίεση χύτευσης, την ταχύτητα και τον σχεδιασμό του καλουπιού.
● Χρησιμοποιήστε έναν ανιχνευτή πυκνότητας για να παρακολουθήσετε την ομοιομορφία της πυκνότητας του πράσινου σώματος.
● Αποφύγετε την αποκόλληση ή τις εσωτερικές ρωγμές.
3. Διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης
Βασικά σημεία:
● Θερμοκρασία και ατμόσφαιρα πυροσυσσωμάτωσης: Πρέπει να πραγματοποιηθεί σε αδρανή ατμόσφαιρα (όπως αργό) ή κενό και η θερμοκρασία είναι συνήθως πάνω από 2000 βαθμούς.
● Ρυθμός θέρμανσης/ψύξης: Πολύ γρήγορος μπορεί να προκαλέσει ρωγμές, ενώ πολύ αργός μπορεί να επηρεάσει την απόδοση παραγωγής.
● Δοκιμή αντίστασης: Ελέγξτε έγκαιρα την τιμή αντίστασης της ράβδου πυροσυσσωματωμένου καρβιδίου του πυριτίου για να δείτε εάν πληροί τις καθορισμένες απαιτήσεις τιμής αντίστασης.
Μέτρα ελέγχου:
● Χρησιμοποιήστε έναν κλίβανο πυροσυσσωμάτωσης υψηλής{0} θερμοκρασίας για να ελέγξετε με ακρίβεια την καμπύλη της ζώνης θερμοκρασίας.
● Παρακολουθήστε την καθαρότητα της ατμόσφαιρας.
● Ανίχνευση πορώδους, πυκνότητας και μικροδομής μέσω πυροσυσσωματωμένων δειγμάτων.
4. Ολοκληρωμένη επιθεώρηση ράβδου
Βασικά σημεία:
● Δοκιμάστε την αντίσταση της τελικής ράβδου καρβιδίου του πυριτίου μετά τη συγκόλληση για να δείτε εάν η αντίστασή της πληροί τις απαιτήσεις.
● Επιθεωρήστε την εμφάνιση της τελικής ράβδου καρβιδίου του πυριτίου για ελαττώματα και μετρήστε εάν το άκρο θέρμανσης και η διάμετρος της ράβδου πληρούν τις απαιτήσεις.
● Επιθεώρηση δειγματοληψίας για να προσδιοριστεί εάν η πυκνότητα των ράβδων καρβιδίου του πυριτίου πληροί τις καθορισμένες απαιτήσεις.
Σύναψη:
Ο πυρήνας της παραγωγής ράβδων καρβιδίου του πυριτίου βρίσκεται στην "ομογενοποίηση των πρώτων υλών, στην πυροσυσσωμάτωση ακριβείας και στην τυποποίηση των δοκιμών". Με την παρακολούθηση ολόκληρης της παραγωγικής διαδικασίας και τη διεξαγωγή αυστηρών επιθεωρήσεων διαδικασίας, η συνέπεια και η αξιοπιστία του προϊόντος μπορούν να βελτιωθούν.
